“”中 노광장비 개발사 SMEE, ASML 독점 깰 특허 출원””

    "中 노광장비 개발사 SMEE, ASML 독점 깰 특허 출원"
    SCMP “”美제재 SMEE 작년 3월 극자외선 노광장비 특허””
    (서울=연합뉴스) 윤고은 기자 = 중국 유일 노광(Lithography·석판인쇄)장비 개발사인 국영 상하이마이크…

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