KAIST, 화학물질 없이 표면가공 하는 반도체 기술 개발

    KAIST, 화학물질 없이 표면가공 하는 반도체 기술 개발
    제네바대와 공동 연구…””대면적 나노 구조 제작 가능””
    (대전=연합뉴스) 정찬욱 기자 = 차세대 반도체 메모리 소재로 주목받는 강유전체를 화학 물질 없이 식각(蝕刻·…

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